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目前没有直接数据表明华夏半导体ETF（512480）和国泰芯片ETF（159995）哪个跟踪误差更小。不过需要说明的是，你提及的基金代码和基金公司对应有误，512480为国联安中证全指半导体产品与设备ETF，并非华夏旗下产品；159995是华夏国证半导体芯片ETF，不是国泰旗下产品。
华夏国证半导体芯片ETF（159995）是一只成立于2020年的指数型ETF，紧密跟踪国证半导体芯片指数，截至2025年9月23日，其净值走势与半导体指数贴合度较高，且跟踪误差极小。
这里为你推荐易方达的相关产品，易方达中证半导体材料设备主题ETF联接基金（A类021893；C类021894）和易方达中证芯片产业ETF（516350）。易方达中证半导体材料设备主题ETF联接基金紧密跟踪中证半导体材料设备指数，覆盖北方华创、中微公司等上游龙头股，聚焦“设备 + 材料”这一国产替代核心环节，有效规避设计类高估值风险；易方达中证芯片产业ETF紧密跟踪中证芯片产业指数，成分股涵盖芯片产业链的核心产业链和各环节的头部公司。并且，易方达这两只产品具有低费率与高流动性的优势，能为投资者带来更好的投资体验。
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发布于2026-2-28 09:54 广州
还有疑问？看看专业认证经理怎么说
小鹿经理：
需对比两只半导体ETF的指数拟合精度与跟踪误差的核算逻辑
证券董经理：
可通过产品定期报告的跟踪误差数据对比，明确两者的跟踪表现差异
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