半导体设备ETF的历史业绩表现较为亮眼，但波动也较大。以下是具体表现：
- 短期表现：截至2026年1月19日收盘，半导体设备ETF广发（560780）年内累计上涨27.61%，居全市场ETF之首；截至2025年11月20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF今年以来净值增长率达41.18%；截至2025年12月16日，半导体设备ETF易方达今年以来基金回报51.6%，同类排名303/3356。
- 长期表现：在2020-2021年行业上升期，因技术突破和市场需求大增，半导体设备ETF涨幅超50%，大幅跑赢沪深300指数；截至2025年10月10日，华夏国证半导体芯片ETF近一年涨幅61.57% ，今年以来涨幅48.85%；代码561980的半导体设备ETF近1年收益率58.92%，优于94%同类产品，成立以来收益106.9%，年化回报超78%。不过在2022年行业低谷期，它遭遇了大幅调整，部分产品回撤超30%。

对于现在是否适合定投半导体设备ETF，需要综合多方面因素考量：
- 有利因素：
- 行业需求上升，先进制程建设提速，国内晶圆厂对设备需求依然旺盛，国产化率提升仍是未来重要看点。
- 在AI和高性能计算推动下，存储、逻辑及功率半导体领域的设备投资将持续扩张，带动全产业链发展。
- 当前半导体设备ETF的估值处于历史低位（低于73%的时期），持有半年的盈利概率为63.33%，投资性价比在同类中处于中上水平。
- 2025年全球半导体增长延续乐观走势，AI驱动下游增长，政策对供应链中断与重构风险持续升级，国产替代持续推进。
- 2025年10月29日，科创半导体设备ETF重要成份股发布的2025年第三季度报告显示，整体业绩大幅超越市场预期，营收保持良好增长，进一步验证了半导体产业的高景气度。
- 不利因素：投资总是有风险的，过往业绩也不代表未来表现。半导体设备ETF行业集中度过高，单纯投资风险相对集中，若半导体行业整体受挫，其表现可能不如分散投资的同类产品。

如果您看好半导体行业长期发展，且风险承受能力较高、投资期限较长，可考虑通过定投的方式适当配置半导体设备ETF，定投可以在一定程度上平滑市场波动的影响。若想精准判断半导体设备ETF的投资价值，建议通过盈米启明星小程序添加店铺“叩富”，不仅能查看其与同类产品的历史业绩对比数据，还能享受专业投顾陪伴服务的服务。同时，也欢迎，我们的专业团队会为您量身定制投资方案，通过合理搭配不同基金组合，实现财富稳健增值。