不同代码的半导体设备ETF历史业绩表现存在差异，以下为你介绍两只产品的相关情况。

半导体设备ETF（561980）：其跟踪中证半导，自上一轮半导体上行周期至今，中证半导区间最大涨幅超过570%，领先同类指数；区间最大回撤59.89%，高弹性特征较为显著。2025年，中证半导年内上涨63.92%，在芯片产业、国证芯片等主流半导体指数中均位居第一。从行业分布看，中证半导中“设备”含量将近60%，半导体设备、材料、设计三行业占比超90%，均为芯片产业链中/上游领域，国产替代空间广阔。2026年1月5日，受相关龙头股表现及市场因素提振，该ETF盘中飙涨4.71%，实时成交额1.73亿元，此前还连续5个交易日累计吸金超2.2亿元。

半导体设备ETF（159516）：跟踪半导体材料设备指数（931743），聚焦半导体产业链中的材料与设备领域。开年以来一路强势，2026年1月16日在台积电财报利好刺激下，盘中价格再创新高。资金热度高，资金盘中流入超2亿份，过去20个交易日净流入超50亿元，截至2026年1月15日规模已经突破150亿元，位居同类ETF第一。2026年1月23日，该ETF收涨超2.4%，主要因电子行业需求持续复苏，供给有效出清。

是否购买半导体设备ETF需要综合多方面因素考量。从积极因素来看，2025年半导体设备指数显著跑赢大盘，当前估值处于28%分位点，行业呈现高景气态势。展望2026年，国内晶圆厂产能利用率回升且扩产意愿强烈，AI驱动存储超级周期，国内先进逻辑和存储扩产有望共振，叠加自主可控逻辑下国产化率继续提升，有望带动设备需求向上。然而，半导体行业也面临一定风险，比如技术更新换代快、竞争激烈、国际贸易政策变化等都可能对行业发展和相关ETF的表现产生影响。

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