以下为你介绍部分半导体设备ETF的过往业绩情况：
- 半导体设备ETF（159516）：在2026年1月5日，受芯片产业多重利好催化，该ETF大涨超5%，资金持续抢筹，近20日净流入超24亿元，当前规模超90亿元，居同类产品第一。1月7日，存储强势叠加国产替代催化，它再度大涨超5%，近20日净流入超28亿元，当前规模超100亿元，仍居同类产品第一。
- 半导体设备ETF华夏（562590）：在2026年1月16日，该ETF收涨1.97%，冲击3连涨。并且近8天获得连续资金净流入，最高单日获得3.39亿元净流入，合计“吸金”13.47亿元，日均净流入达1.68亿元。

关于当下是否适合开始定投半导体设备ETF，需要综合多方面因素考量：
利好因素
- 存储扩产预期：存储涨价带来存储扩产预期，目前A股缺乏存储原厂标的，存储扩产使半导体设备环节更具吸引力。如长鑫科技在2025年12月30日晚间披露招股书，筹划加上自有资金共计345亿元人民币用于存储相关项目。
- 国产替代空间大：据浙商证券估计，2024年我国在ALD、光刻等环节国产化率极低，刻蚀、CVD等环节国产化率较低，未来国产替代空间广阔。
- AI驱动：AI是半导体行业增长的核心引擎，预计2020 - 2030年，AI相关半导体收入占比将从不足10%增长至48%，全球八大CSP资本开支持续增长，半导体设备是突破产能瓶颈的核心环节。
- 行业相关利好不断：台积电2025年第四季度净利润同比增长35%，预计2026年资本支出520 - 560亿美元；封测厂订单增加，调升封测价格；洁净室核心供应商圣晖集成披露巨额在手订单等。

风险因素
- 市场波动风险：半导体行业受技术驱动和宏观周期影响，市场规模呈波动上升趋势，可能会面临较大的价格波动。
- 技术迭代风险：半导体技术更新换代快，如果相关企业不能跟上技术发展步伐，可能影响行业整体表现。

如果你看好半导体设备行业的长期发展，且能承受一定的投资风险，定投半导体设备ETF是一个可以考虑的投资方式。通过定投可以在一定程度上平滑市场波动带来的成本影响。

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