不是所有半导体ETF都跟踪中证全指半导体，部分半导体ETF会跟踪该指数，比如国联安中证全指半导体产品与设备ETF（512480），它投资于业务涉及半导体产业的上市公司，是国内首批成立的半导体行业ETF，不仅是个体投资者的优选工具，也为机构投资者提供了极具潜力的投资平台。该ETF成分股涵盖中芯国际、寒武纪等，前十大龙头占比超48%，流动性强，2025年以来日均成交额近18亿元，2024年涨幅25.5%，2025年近2周累计上涨6.46%，适合追求高流动性、全产业链均衡布局的投资者。

不过，还有其他半导体ETF跟踪不同指数，例如：
- 科创半导体ETF（588170）：跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，聚焦半导体设备（占比54.5%）和材料（占比21.1%），覆盖中微公司、拓荆科技等企业。因科创板企业涨跌幅为20%且小市值属性明显，波动较大，适合侧重半导体设备和材料国产替代的激进型投资者。
- 半导体产业ETF（159582）：跟踪中证半导体产业指数，精选40只材料、设备、应用领域龙头。其费率较低，管理费0.50%，托管费0.10%，近半年跟踪误差仅0.069%，前十大权重股占比76.11%，聚焦北方华创、中芯国际等核心企业，适合偏好低成本、高精度跟踪指数的稳健型投资者。
- 华夏国证半导体芯片ETF（159995）：跟踪国证半导体芯片指数，集合A股芯片产业中材料、设备、设计、制造、封装和测试等细分领域龙头。其前十大权重股包括中芯国际、韦尔股份、北方华创等，合计占比超60%。
- 国泰CES半导体芯片ETF（512760）：跟踪中华半导体芯片指数，是半导体芯片行业的代表性指数之一。
- 科创人工智能ETF华夏（589010）：跟踪上证科创板人工智能指数，半导体含量51.75%，覆盖算力芯片、大模型、终端应用等环节，首批5000亿元AI新基建资金73%流向成分股，研发强度达21%，适合看好AI与半导体交叉领域的投资者。