半导体设备ETF的历史业绩与同类基金相比各有优劣。在半导体行业上升期往往表现出色，如2020年部分半导体设备ETF涨幅超50%，大幅跑赢同期沪深300指数，近一年部分半导体设备ETF涨幅超30%，而一些同类基金涨幅在20%左右。而且在市场下跌阶段，ETF因分散投资特点，波动相对较小。比如去年三季度半导体行业调整时，某半导体设备ETF回撤控制在15%以内，部分主动管理的半导体基金回撤超20%。

不过，半导体设备ETF历史业绩波动大，不同时间段表现差异明显，行业低谷期业绩会受较大影响，如2022年遭遇大幅调整。并且它行业集中度过高，若半导体设备行业整体受挫，表现可能不如一些分散投资的同类产品。像华夏中证半导体材料设备主题ETF，截至2025年11月20日，该基金近一年涨跌幅为24.29%，今年以来净值增长率达41.18% ，过去一季净值增长率为20.78%。

从长期来看，半导体设备ETF有一定投资价值。当前全球半导体产业处于复苏阶段，在人工智能应用爆发式增长、国产替代纵深推进、智能汽车等下游需求增长多重推动下，半导体行业整体呈现复苏态势，中证半导指数2025年Q3营收和净利润均实现同比增长。并且当前半导体设备ETF的估值处于历史低位（低于85%的时期），长期配置价值凸显，同时国产替代趋势明确，多位基金经理认为半导体设备是2025年科技主线，订单与盈利预期清晰。

不过，半导体设备行业也面临技术迭代快、竞争激烈、政策和贸易环境不确定等风险，若在行业下行阶段持续持有，可能会面临一定损失。

单纯投资半导体设备ETF风险相对集中，建议进行基金组合配置。我们盈米基金叩富团队精心打造了一系列基金组合。想追求低风险稳健收益，可选择债券基金组合【日富一日】；看好指数长期发展，有偏指数基金组合【叩富稳盈组合】，由经验丰富首席投资顾问何剑波老师领衔根据市场动态灵活调整持仓；如果想拓展海外投资，有【叩富安盈组合】，其精选优质海内外基金，追求稳定收益。

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