半导体设备ETF的历史业绩表现较为亮眼。近1年收益率达30.73%，今年以来收益率为57.03%，成立以来更是实现了翻倍收益（100.19%）。在2020 - 2021年行业上升期，因技术突破和市场需求大增，其涨幅超50%，大幅跑赢沪深300指数；不过在2022年行业低谷期，它遭遇了大幅调整。在2025年9月下旬，相关半导体设备ETF出现连续上涨趋势，如9月29 - 30日，易方达半导体设备ETF联接C两天涨幅高达12% ，9月30日，半导体设备ETF（159516）一度涨停。

再看看部分产品的情况，截至2025年10月10日，华夏国证半导体芯片ETF近一月涨幅19.67%，近一年涨幅61.57% ，今年以来涨幅48.85%；与同类产品相比，该基金规模超254亿元，日均成交额较高，可有效避免“规模太小易清盘”风险；其风险调整后收益在同类型基金中排名前97%，近1年涨幅达62.04%，排名20/949；近3年涨幅虽为 -1.83%，但排名也达到248/745。截至2025年11月3日，半导体产业ETF（159582）近2周累计上涨2.14%，涨幅排名可比基金1/2 。博时中证半导体产业ETF近一年收益49.25%，管理费率为行业较低水平，跟踪误差小，能精准捕捉国产替代红利。不过在2021年，受全球芯片短缺和原材料价格上涨等因素影响，半导体材料ETF业绩出现波动，排名有所下降。

现在是否适合大量购买半导体设备ETF，需要综合多方面因素考量。从有利因素来看，半导体全产业链设备需求上升，先进制程建设再提速，国内晶圆厂对设备需求依然旺盛，国产化率提升仍是未来重要看点。在AI和高性能计算推动下，存储、逻辑及功率半导体领域的设备投资将持续扩张，带动全产业链发展。并且，当前它的估值处于历史低位（低于73%的时期），持有半年的盈利概率为63.33%，投资性价比在同类中处于中上水平。2025年全球半导体增长延续乐观走势，AI驱动下游增长，政策对供应链中断与重构风险持续升级，国产替代持续推进。2025年10月29日，科创半导体设备ETF重要成份股发布的2025年第三季度报告显示，整体业绩大幅超越市场预期，营收保持良好增长，进一步验证了半导体产业的高景气度。

不过，投资总是有风险的，过往业绩也不代表未来表现。如果你想参与半导体设备ETF投资，建议下载盈米启明星APP输入6521 ，在这儿您能享受全市场最低1折费率，还有专业投资顾问服务，会有专业人员提醒买卖点。若在投资过程中有任何疑问，您还可以右上角添加盈米基金官方投顾微信，获取专业帮助。

发布于22小时前 广州