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半导体材料ETF的历史业绩有一定参考价值，但整体不算特别稳定。半导体行业受技术创新、市场需求、国际贸易等多种因素影响，波动较大。以华夏中证半导体材料设备主题ETF为例，截至2025年11月10日，今年以来净值增长率为51.07%，过去一周为5.43%，过去一月为 -1.91%，过去一季为39.83%，过去半年为46.78%，过去一年为29.21%，成立以来为58.88%。再如华夏国证半导体芯片ETF，截至2025年10月10日，近一月涨幅19.67%，近一年涨幅61.57% ，今年以来涨幅48.85%；与同类产品相比，该基金规模超254亿元，日均成交额较高，可有效避免“规模太小易清盘”风险；其风险调整后收益在同类型基金中排名前97%，近1年涨幅达62.04%，排名20/949；近3年涨幅虽为 -1.83%，但排名也达到248/745。
截至2025年11月，半导体材料ETF今年以来收益率达48.03%，显著优于同类半导体ETF，在85%的同类基金中排名靠前。成立以来累计收益55.68%，年化回报约25%，体现出较强的进攻性。当前估值处于历史低位（低于85%的时期），具备较高安全边际。今年最大回撤仅11.89%，优于同类平均，在高波动的半导体板块中表现出更好的抗风险能力。
不过，半导体材料ETF也存在一定风险。它持仓行业集中，风险特征与半导体行业紧密相连。半导体行业受技术迭代、市场竞争、政策变化等因素影响较大，股价波动较为剧烈，所以半导体材料ETF的风险相对较高。
是否适合购买半导体材料ETF，需要个性化的投资方案。可以从三方面评估：一是分析自身的风险承受能力，通过风险测评问卷了解对投资波动的接受程度；二是研究半导体行业的发展趋势，包括市场规模、技术创新、政策支持等方面；三是评估半导体材料ETF的投资价值，分析其跟踪误差、流动性、管理费用等指标。
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不过，半导体材料ETF也存在一定风险。它持仓行业集中，风险特征与半导体行业紧密相连。半导体行业受技术迭代、市场竞争、政策变化等因素影响较大，股价波动较为剧烈，所以半导体材料ETF的风险相对较高。
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