半导体材料ETF的历史业绩在同类中的表现较难一概而论，会随时间和市场环境变化而波动。

以华夏国证半导体芯片ETF为例，截至2025年10月10日，近一月涨幅19.67%，近一年涨幅61.57% ，今年以来涨幅48.85%。与同类产品相比，该基金规模超254亿元，日均成交额较高，可有效避免“规模太小易清盘”风险；其风险调整后收益在同类型基金中排名前97%，近1年涨幅达62.04%，排名20/949；近3年涨幅虽为 -1.83%，但排名也达到248/745。再如半导体产业ETF（159582），截至2025年11月3日，近2周累计上涨2.14%，涨幅排名可比基金1/2。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（基金代码：562590），截至2025年11月17日，今年以来净值增长率42.68%，过去一周为 -5.55%，过去一月是1.41%，过去一季达27.03%，过去半年为41.18%，过去一年为27.78%，成立以来为50.06% 。

关于是否可以买入半导体材料ETF，不能仅依据历史业绩判断。目前基本面上，在人工智能应用爆发式增长、国产替代纵深推进、智能汽车等下游需求增长多重推动下，半导体行业整体呈现复苏态势。2025年全球半导体增长延续乐观走势，AI驱动下游增长，政策对供应链中断与重构风险持续升级，国产替代持续推进。中证半导指数2025年Q3营收同比增长32.12%，已连续10个季度实现同比增长；净利润同比增27.12%，整体保持复苏态势。不过，半导体行业具有高波动性、技术迭代快、竞争激烈、政策影响大等风险。

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